High Pure 99,8% titanium kvalitet 7 runder sputtering mål ti legering mål for coating fabrik leverandør
Produktparametre
Produktnavn | Titanium mål til pvd coating maskine |
Grad | Titanium (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7,GR12)Legeringsmål: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr osv |
Oprindelse | Baoji by Shaanxi-provinsen Kina |
Titanium indhold | ≥99,5 (%) |
Urenhedsindhold | <0,02 (%) |
Tæthed | 4,51 eller 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Størrelse | 1. Rundt mål: Ø30--2000 mm, tykkelse 3,0 mm--300 mm;2. Plademål: Længde: 200-500mm Bredde:100-230mm Tykkelse:3--40mm;3. Rørmål: Dia:30-200mm Tykkelse:5-20mm Længde:500-2000mm;4. Tilpasset er tilgængelig |
Teknik | Smedet og CNC bearbejdet |
Anvendelse | Halvlederseparation, Filmbelægningsmaterialer, Opbevaringselektrodebelægning, Sputteringbelægning, Overfladebelægning, Glasbelægningsindustrien. |
Kemiske krav til titaniummål
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementært indhold (≤vægt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Andre | ||||
Titanium rent | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Gr.2 | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitaniumLegering | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Gr.7 | TA9 | Klasse 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd: 0,12-0,25 | |
Gr.12 | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo: 0,2-0,4 Ni: 0,6-0,9 |
Langsgående mekaniske egenskaber ved stuetemperatur
Grad | TrækstyrkeRm/MPa(>=) | UdbyttestyrkeRp0,2(MPa) | ForlængelseA4D(%) | Reduktion af arealZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titanium sputtering mål
Den almindelige størrelse af titanium sputter-målet: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 osv.
Kan også tilpasse efter kundens ønsker eller tegninger
Målkrav: høj renhed, ensartede krystalkorn og god kompakthed.
Renhed: 99,5 %, 99,95 %, 99,98 %, 99,995 %.
Titanium Target Produktionsproces
titansvamp --- smeltet til titaniumbarre --- test---skæring af barren --- smedning ---rulning ---afskalning --- udretning ---ultralydsdetektering af fejl --- pakning
Titanium målfunktioner
1. Lav densitet og høj specifikationsstyrke
2. Fremragende korrosionsbestandighed
3. God modstandsdygtighed over for effekt af varme
4. Fremragende leje til kryogene egenskaber
5. Ikke-magnetisk og ikke-giftig
6. Gode termiske egenskaber
7. Lavt elasticitetsmodul