Højrent 99,8% titanium grad 7 sputteringmål ti-legeringsmål til belægningsfabriksleverandør
Produktparametre
Produktnavn | Titanmål til PVD-belægningsmaskine |
Grad | Titanium (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legeringsmål: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr osv |
Oprindelse | Baoji by Shaanxi-provinsen Kina |
Titanindhold | ≥99,5 (%) |
Urenhedsindhold | <0,02 (%) |
Tæthed | 4,51 eller 4,50 g/cm3 |
Standard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Størrelse | 1. Rundt mål: Ø30--2000 mm, tykkelse 3,0 mm--300 mm;2. Plademål: Længde: 200-500 mm Bredde: 100-230 mm Tykkelse: 3--40 mm;3. Rørmål: Diameter: 30-200 mm Tykkelse: 5-20 mm Længde: 500-2000 mm;4. Tilpasset er tilgængelig |
Teknik | Smedet og CNC-fræset |
Anvendelse | Halvlederseparation, filmbelægningsmaterialer, belægning af lagringselektroder, sputterbelægning, overfladebelægning, glasbelægningsindustri. |
Kemiske krav til titaniummål
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementært indhold (≤vægt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Andre | ||||
Titanium Pure | 1. klasse | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
2. klasse | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitaniumLegering | 5. klasse | TC4Ti-6Al-4V | Klasse60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
7. klasse | TA9 | Klasse 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
12. klasse | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Måned: 0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 |
Longitudinelle mekaniske egenskaber ved stuetemperatur
Grad | TrækstyrkeRm/MPa(>=) | FlydespændingRp0,2 (MPa) | ForlængelseA4D(%) | Reduktion af arealZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titanium sputtering mål
Den almindelige størrelse på titaniumsputtermålet: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 osv.
Kan også tilpasses efter kundens ønsker eller tegninger
Målkrav: høj renhed, ensartede krystalkorn og god kompakthed.
Renhed: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Produktionsproces for titanmål
Titansvamp --- smeltet til titaniumbarre --- test --- skæring af barren --- smedning --- valsning --- afskalning --- glatning --- ultralydsfejldetektion --- pakning
Funktioner i titaniummål
1. Lav densitet og høj specifikationsstyrke
2. Fremragende korrosionsbestandighed
3. God modstandsdygtighed over for varmepåvirkning
4. Fremragende bæreevne i forhold til kryogeniske egenskaber
5. Ikke-magnetisk og giftfri
6. Gode termiske egenskaber
7. Lavt elasticitetsmodul